تشکیل شده است که در هر قسمت می توان بررسی هایی در جهت افزایش راندمان صورت داد که از آن جمله می توان به موارد زیر اشاره کرد :
* نوع کانال جریان آند (مارپیچ ، موازی ، سری ، موازی بلند ، شبکه ای و موازی مارپیچ)
* لایه پخش گازی آند (جنس ، میزان فشردگی)
* مواد و ضخامت لایه کاتالیست آند و کاتد
* لایه پخش گازی کاتد (جنس ، میزان